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              如何解決硅片切割面崩裂?

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              如何解決硅片切割面崩裂?

              發布日期:2018-10-25 作者:中亞 點擊:

              硅片切割液固液分離設備廠家中亞小編今天和大家談談關于硅片切割面崩裂的問題要如何解決。

              硅片的切割過程是由鋼線和砂漿共同完成的,其中砂漿是由碳化硅和切割液按照一定比例配制成的,具有一定的粘度和密度,而實際起到切割作用的是碳化硅顆粒。鋼線環繞糾纏在切割室導輪上形成平整的線網,切割過程中,砂漿高速滾動,從漿料嘴流出的砂漿因為切割液的懸浮作用使得碳化硅顆粒包裹在鋼線表面,跟著鋼線的滾動,對硅塊產生碰撞摩擦,因為碳化硅的莫氏硬度為9.5,硅的莫氏硬度為7,碳化硅的硬度大于硅的硬度,從而起到切割作用。


              硅片切割液固液分離設備


              鋼線切割至硅塊粘接面時會經由三類介質,即硅塊、膠層和玻璃,因為三種介質的硬度不同鋼線在經由三種介質時受到應力作用被崩開,造成硅落,產生膠面崩邊。另外三種介質熔點不同,切割過程中產生的高溫順熱量會使膠層和玻璃軟化,影響鋼線攜砂能力,增大出刀鋸痕,導致產生膠面崩邊。為降低出產本錢,小槽距細鋼線切割已成為當前切片行業的趨勢,但是因為鋼線直徑變細,攜砂能力會受到一定影響;另一方面槽距減小,出片數增多,切割面積增大,也會加劇對碳化硅的磨損和破碎,從而降低砂漿的切割能力。特別是切割至出刀位置,碳化硅棱角被磨圓,切割能力進一步降低,因此不可避免會存在線弓(一般地,線弓為5-7mm)。

              針對此問題,可采取的措施是:

              (1)調整出刀工藝,在硅塊切割至出刀位置時提前降低工作臺速度,這樣有利于增加砂漿的輪回量,彌補砂漿切割能力不足的題目。

              (2)因為出刀期間臺速較慢,若砂漿流量過大,砂漿活動造成的沖擊力輕易使鋼線崩開造成膠面崩邊,因此出刀期間的砂漿流量應適當減小。

              (3)進步出刀期間砂漿的切割能力,這可以通過改變砂漿的更新方式實現。通常,砂漿更新是在每鋸硅片切割結束后進行,為增加切割后期砂漿的切割能力,我們可以選擇在每鋸切割至90%時更新砂漿,這樣可以有效減小出刀線弓,減小出刀鋸痕和對鋼線的作用力。

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